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上海热式气体质量流量计厂家MFC300 系列气体质量流量计/控制器,该系列采用 MEMS 流量传感器,自带温度和压力补偿。具有响应速度快,宽量程比、压损小、体积小巧安装方式灵活的特点。
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微流量气体流量计平替进口同类产物MFC330 系列气体质量流量计/控制器,其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。被测气体进入后,先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构,即使环境温度变化或进出口气压波动MFC330 依然能够保持稳定的流量控制。
上海热式气体质量流量计惭贵惭毛细管热质量流量计,直接测量较低流量范围内的清洁气体和混合气体的质量流量。