柚子猫糖心logo

爱拓利微小气体质量流量计自主研发的 MFC330 柚子猫糖心logo（以下简称 MFC330），主要用于对气体的质量流量进行精确测量和控制。

采用优质的核心部件、高 性能的处理器芯片、智能的控制算法及简洁直观的操作界面，使气体流量控 制更加精准、稳定和简便，内置温度和压力传感器，采集气路温度、压力值 外，进一步对气体流量控制进行温压补偿；支持多种通讯协议，可以方便高 效的与电脑、笔尝颁、工业触摸屏、单片机等进行通讯；具有多气体测量，高  精度，高稳定性，极低零漂等特性。

惭贵颁330在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工

业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型 的应用场合包括:  电子工艺设备,  如扩散、氧化、外延、 CVD、等离子刻

蚀、溅射、离子注入;  以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系 统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

介质要求   洁净干燥气体

气体种类  98+气体可选

量程  0-2，10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500蝉濒辫尘

测量范围  0.5%F.S.（1:200）

控制范围  1%-100% FS.（1:100）

准确度  ±1% F.S.

重复精度  ±0.2%F.S.

线性度  ±0.2%F.S.

控制响应时间  <3 秒

预热时间  5 min（T95），30 分钟最佳

阀门  常闭式

机械特性

最大工作压力  3 MPa（30bar）

工作压差范围  0-1 MPa

工作温度范围  -20~65℃（环境和气体）

湿度范围  0 ~ 98%无凝露

气路接头类型  卡套、VCR、快插、快拧（可选）

气体接触材质  氟橡胶、304/316不锈钢

密封材质

氟橡胶 FKM

防护等级  IP40

安装方式  水平安装方向校准

固定孔  M4 ? 5mm

重量  0.96kg

电气和通讯

电气连接接口类型  DB-9 公头

模拟信号  0 - 5 VDC，4 - 20 mA（可定制）

输入输出阻抗  输入阻抗>10MΩ，输出阻抗<1KΩ

模拟数据更新频率  200Hz

数字信号  Modbus RTU （RS232， RS485）， CAN

通信速率  9600（默认），14400，19200，38400，56000，57600，115200 bps（用户可修改）

电源  15-40 VDC，<200 mA

显示更新频率  50Hz

模拟信号精度  ±0.05%F.S.