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MFC350 系列为全新升级的毛细管热式气体质里流量计/控制器。

产物特点

精度：0.5 % F.S.

测量范围：0.5%~100% F.S.

控制范围：1%~100% F.S.

工作压差范围：0-1 MPa

≤1s 快速响应

90+种气体适用

量程：2 sccm-200slm

通讯方式: 模拟量，RS485, RS232, CAN, EtherCat

主要参数

介质要求  洁净干燥气体

气体种类  130+ Available for 130+types of gas

量程  0-1, 5, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm

0-1, 2, 3, 4, 200 slpm

控制范围  1%F.S-100%F.S.（1:100）

准确度  0.2% F.S

重复精度  0.05% F.S

线性度  0.1%F.S

控制响应时间  100ms

预热时间  0s

阀门  常闭

泄漏率  1*10-10 Pa*m?/s He (氟橡胶密封)

1*10-11 Pa*m?/s He（全金属密封）

分辨率  0.001sccm

机械特性

耐压  3 MPa

工作压差范围  0 - 0.08 MPa

工作温度范围  0 – 65 ℃

湿度范围  0 ~ 98% 无凝露

气路接头类型  快拧，卡套，VCR, IGS

气体接触材质  FKM, 316L

密封材质  FKM （全金属密封可选）

防护等级  IP40

安装方式  自由安装

固定孔  M4 ? 5mm

重量  1 kg（MFM）1.4kg(MFC)

柚子猫糖心logo成立于2012年，是一家流体质量流量计和控制器专业研发制造商，专注于微小气体流量精准测控。公司核心部件及生产设备100%自主研制，全制程自主可控，已成为国内该领域技术、产物线完整的品牌之一。